Build-to-Order (BtO) Mass Flow / Pressure Controllers
FLEXI-FLOW Compact Build-to-Order (BtO) Mass Flow / Druk Controllers zijn geschikt voor nauwkeurige meting en regeling van flowbereiken tussen 0...500 mln/min en 0...20 ln/min bij procesdrukken tussen vacuüm en 17 bar(a). Het instrument combineert een snelle en stabiele thermische massflowsensor op basis van capillaire MEMS-technologie met een nauwkeurige en beproefde by-pass-constructie. Dankzij de unieke TCS-technologie (Through Chip Sensor) wordt een nauwkeurige massflowmeting tot stand gebracht, die nagenoeg onafhankelijk is van variaties in temperatuur en leidingdruk. In combinatie met geïntegreerde temperatuur- en up- en downstream druksensoren maakt de ingebouwde database voor 22 gassen nauwkeurige, on-board conversie mogelijk. De multi-parameter instrumenten verschaffen de gebruiker belangrijke procesinformatie.
FLEXI-FLOW Compact Build-to-Order (BtO) instrumenten bieden een
turndown van 1:1000 en een vrije keus van bereiken tussen 0,5 en 20 ln/min (FS, gebaseerd op N
2). Ze zijn momenteel verkrijgbaar in 2 varianten:
- Type FF-C10: flow + temperatuur
- Type FF-C11: flow + temperatuur + voor- en nadruk
BtO modellen kunnen ook worden gebruikt om
meerkanaalsversies tot 8 kanalen te configureren.