IQ+FLOW® ULTRACOMPACTE DRUKMETERS EN DRUKREGELAARS

Druksensoren op basis van MEMS-technologie

Apparatenbouwers geven de voorkeur aan zo compact mogelijke oplossingen om de gasstroom of -druk in hun systeem te bewaken of te regelen. De afmetingen van desktopapparatuur, die bijvoorbeeld in de analytische, biotechnologische en medische sector wordt gebruikt, moeten liefst ruimtebesparend en dus zo klein mogelijk zijn. 

In nauwe samenwerking met TNO-TPD (toonaangevend Nederlands instituut voor toegepaste natuurkunde) heeft Bronkhorst de IQ⁺FLOW^® mass flow sensor voor gassen ontwikkeld. Daarnaast zijn miniatuur druksensoren en roestvrijstalen minikleppen ontworpen die op het platform passen. Door het gebruik van micro solid state-sensoren (MEMS-technologie) is IQ⁺FLOW een aanzienlijk geminiaturiseerd platform geworden voor het meten en regelen van lage gasflow en druk, met een voetafdruk van 20 x 40 mm. IQ⁺FLOW drukmeters en regelaars kunnen optioneel worden uitgerust met media-geïsoleerde chipsensoren, waardoor ze compatibel zijn met een breed scala aan vloeistoffen. 

• laagste bereik 0,01...0,5 bar absoluut / overdruk
• hoogste bereik 0,2...10 bar absoluut / overdruk

Klantspecifieke ontwerpen 

Gebaseerd op de microsysteemtechnologie van de IQ⁺FLOW^® serie biedt Bronkhorst ook de mogelijkheid om functionele modules te combineren op een compact basisblok (manifold). Zie IQ⁺FLOW manifold-oplossingen.