Software gebruikt in dit verdampingsproces
Het verdampingsproces in deze opstelling maakt gebruik van LabVIEW-software voor eenvoudige en effectieve visualisatie. Het traditionele beluchtingssysteem, dat een beperkte lage flowsnelheid (?) had van draaggas en precursor, is vervangen door het momenteel gebruikte CEM-verdampsysteem. Deze overgang heeft verschillende voordelen met zich meegebracht.
Voordelen van het gebruik van het CEM-verdampsysteem
Met het
CEM-systeem behaalt Empa een hoger gasrendement van 50 ml/min in vergelijking met het vorige bubbler systeem, dat slechts 4-5 ml/min gas flow toestond. Daarnaast is de flow van vloeibare HMDSO verhoogd. Het doel van Empa is om het proces op te schalen van laboratoriumschaal naar industriële schaal.
Het
CEM-systeem dat momenteel bij Empa wordt gebruikt, is draagbaar en compact. Deze mobiele opstelling, die lijkt op een klein kantoortafel op wielen, maakt gemakkelijke verplaatsing tussen laboratoria mogelijk. De compactheid van de Bronkhorst-apparaten vergroot verder de flexibiliteit van ontworpen stroomoplossingen.
De HMDSO-opstelling maakt de afzetting van polysiloxaancoatings bij lage temperaturen mogelijk, waardoor het geschikt is voor het coaten van textielvezels die geen hoge temperaturen kunnen verdragen. De inspanningen van Empa om plasma-polymerisatie bij lage druk uit te voeren, hebben als doel de productieopbrengst te verhogen door heterogene afzetting op het oppervlak van de vezel te vergemakkelijken en de hoeveelheid gebruikte chemicaliën te verminderen.
Vraag advies