液体用マスフローメータ・コントローラ
液体用フローメータ
液体用マスフローメータLIQUI-FLOW™シリーズのセンサーは可動部品や流れを阻害する部品がないステンレス鋼製チューブにより構成されています。アネモメトリック(恒温)原理によるヒーター・センサーアセンブリーがチューブの外側に取り付けられ、一定の温度差(ΔT)が形成され、ΔTを維持するために必要なエネルギーが質量流量に依存します。独自のみセンサーにより、液体の昇温は最大5°C程度に抑えられるため、LIQUI-FLOW™シリーズは低沸点の液体に適しています。
液体用フローコントローラ
流量制御は、液体流量計の本体に制御弁を統合することによって実現されます。このコントロールバルブには、始動時に空気またはガスを排除するためのパージコネクタがあります。PIDコントローラはメータの通常の制御回路に標準搭載されています。
注：
超低流量向けに、ブロンコストはµ-FLOWシリーズを提供しています。流量範囲：1.5 ... 30 mg/hから0.1 ... 2 g/hまで(IPAまたはH2O換算)。