1. Comment fonctionne un régulateur de débit massique ?
Un régulateur de débit massique est un instrument compact qui achemine plusieurs composés chimiques – gaz ou liquide – dans un process en contrôlant le débit avec précision. Pour ce faire, le débit du ou des composés à fournir est réglé électroniquement par un signal de consigne en tension, en courant ou par bus de terrain numérique. La quantité de gaz ou de liquide qui s'écoule au travers de l’appareil est mesurée par un capteur interne. La valeur mesurée et traitée est comparée à la valeur du point de consigne. Pour que ces deux valeurs soient égales, une vanne de régulation fait varier le débit (par ouverture ou fermeture).
Sur le principe, un régulateur de débit massique est un débitmètre massique (c'est-à-dire le capteur) combiné à une vanne de régulation et à une électronique de contrôle entre le capteur et la vanne. Cette fonction de boucle de régulation (également connue sous le nom de PID, proportionnel-intégral-dérivé) est souvent intégrée à la carte électronique de l'instrument, ces paramètres de régulation peuvent être ajustées pour un contrôle rapide ou en douceur au moyen d'un logiciel utilisateur.