Lorsque le système de pulvérisation observe que l’épaisseur ou la transparence s’éloigne des paramètres souhaités, il corrige le procédé de dépôt en ajustant les débits de gaz. Une régulation de débit très rapide est par conséquent souhaité avec un temps de réponse proche des 150 millisecondes.
Le régulateur de débit pour gaz FLEXI-FLOW offre cette rapidité. En cas de variations de la pression d’entrée, le régulateur de débit de gaz maintient le débit au point de réglage de façon aussi réactive que possible. En cas de changements dans la chambre du réacteur, le régulateur de débit définit un nouveau point de réglage. De cette façon, l’adaptation rapide du débit réduit le gaspillage et les quantités de produits rejetés.