重要議題
- 質量流量控制器的精度和再現性
- 通過優化產品以滿足客戶的特定需求來降低成本
- 通過設備設計定制主體來減少設備的體積
- 通過控制和可追溯的製造方法來提高清潔度
製程解決方案
質量流量控制器在該製程中的主要功能是監測和控制超高純度(UHP) N2 (A)或清潔乾燥空氣吹掃(CDA)(B)。在較早的晶圓廠中清潔乾燥空氣吹掃(B)更為常用,而新工廠使用UHP N2吹掃(A)。
為了在不增加不必要成本的情況下滿足FOUP卸載模塊的特定設計要求,我們當地銷售與服務團隊協助開發符合品質與高精準要求的產品,以滿足FOUP設備商與半導體製造商的高標準。憑藉40多年在質量流量計和控制器的經驗,我們能夠用一些標準系列產品(基於CTA原理的MASS-STREAM流量控制器或是基於毛細管旁路原理的EL-FLOW)為客戶提供定制化的解決方案。產品為獨立單元配置。
Bronkhorst亞太區OEM銷售經理Sia Wilson先生這樣說:我們很高興有機會與客戶討論並密切合作開發所需的產品。在此過程中,雙方都了解了技術和要求,最終使我們能夠為該應用創造出具有成本效益的高品質和功能良好的產品。這是Bronkhorst與我們客戶之間真正的合作夥伴關係。