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太陽能產業中的流量設備

太陽能發電在可再生能源中位居前列,僅次於風能和水能。太陽能電池的生產包括多個階段,例如清潔、蝕刻矽晶圓片,以及使用化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)方法或塗覆進行層沉積。在多個製程中,流量設備起到關鍵作用。流量設備確保在諸如以下製程中準確且可重復地供應氣體、蒸氣和液體:

  • 在傳統的矽基太陽能電池上添加層次
  • 在柔性基板上為第二代非晶矽基薄膜電池創建薄層
  • 應用氧化鋁保護層和/或抗反射層

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太陽能電池生產中的流量設備

客戶應用中使用的流量設備



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