MEMS-gebaseerde massflowregelaar voor gassen, voor OEM-toepassingen
Bronkhorst® IQ+FLOW® model IQF-200C massflowcontrollers (MFC's) zijn geschikt voor nauwkeurige regeling van droge, schone, niet-corrosieve, niet-explosieve gassen. De ultracompacte MFC heeft een thermische massflowsensor op basis van een chiptechnologie (MEMS) en is geschikt voor flowbereiken tussen 0,2...10 mln/min en 0,1...5 ln/min N2-equivalent bij bedrijfsdrukken tussen vacuüm en 10 bar(g). De communicatie met de instrumenten kan zowel analoog als digitaal over RS232 of RS485 verlopen.
De ultracompacte IQ+FLOW instrumenten worden vooral aanbevolen voor integratie in analytische en medische apparatuur.