Bronkhorst

IQ+FLOW IQF-100C MFM

Microfluidische Massflowmeter voor Gas

  • Kleine footprint zorgt voor ruimtebesparing
  • Zeer klein intern volume
  • Economische oplossing, lage cost of ownership
  • Analoge of digitale communicatie
Vraag offerte aan Downloads Datasheet
IQ+FLOWIQF-100C MFM

MEMS-gebaseerde massflowmeter voor gassen, voor OEM-toepassingen

Bronkhorst® IQ+FLOW® model IQF-100C massflowmeters (MFM's) zijn geschikt voor nauwkeurige metingen van droge, schone, niet-corrosieve, niet-explosieve gassen. De ultracompacte MFM heeft een thermische massflowsensor op basis van een chiptechnologie (MEMS) en is geschikt voor flowbereiken tussen 0,2...10 mln/min en 0,1...5 ln/min N2-equivalent bij bedrijfsdrukken tussen vacuüm en 10 bar(g). De communicatie met de instrumenten kan zowel analoog als digitaal over RS232 of RS485 verlopen.

De ultracompacte IQ+FLOW instrumenten worden vooral aanbevolen voor integratie in analytische en medische apparatuur.


Technische specificaties

Meet- / regelsysteem
Flowbereik (tussenliggende bereiken beschikbaar)min. 0,2…10 mln/min
max. 0,1…5 ln/min
(based on N2)
Nauwkeurigheid (incl. lineariteit) (gebaseerd op actuele kalibratie)< ±1,5% RD + ±0,5% FS
(Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)
Herhaalbaarheidfor flows < 20 mln/min: < ±0.5% FS;
for flows > 20 mln/min: < ±0,5% RD
Turndown ratio1:50 (2…100%)
Bedrijfsdruk0 … 10 bar g
MediaDry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N2, Ar, He, CO2 and H2. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O2, CO, …)
Multi-fluid mogelijkheidOpslag van max. 8 kalibratiecurves
Bedrijfstemperatuur5 … 50 °C
Temperatuurgevoeligheidspan: 0,2% RD/°C; zero: 0,01 mln/min/°C
Drukval0,3 psi dif (20 mbard) based on 1 ln/min Air at 0 bar(g)
Lekdichtheid, naar buiten< 1 x 10-8 mbar∙l/s He
Standgevoeligheidmax. error at 90° off horizontal 0,5 mln/min at 1 bar, typical N2
Mechanische delen
Materiaal (onderdelen die in contact komen met het medium)aluminium, Si, SiOx, epoxy;
option: stainless steel body (SS316L)
Procesaansluitingenoptional: 10-32 UNF threaded internal nut with 1/16” ferrule (SS316 or Peek);
1/16” or 1/8” OD compression type
Afdichtingenstandard: Viton®; other on request
Gewicht100 g (Aluminium) / 160 g (SS316L)
Beschermingsgraad (behuizing)IP40
Elektrische eigenschappen
Readout sample time2 msec
Stroomvoorziening+ 15 … 24 Vdc
Max. stroomverbruik50 mA
Analoog signaal0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digitale communicatieRS232, RS485 (Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)
Elektrische aansluiting
Stroom/Analoog/RS232/RS485RJ45 modular jack
Control valve options
Externe actuatoropties die op de controller moeten worden aangesloten
Certificering voor explosiegevaarlijke zones
Goedkeuringen / certificaten

Technische specificaties kunnen zonder kennisgeving worden gewijzigd.

Voor technische maattekeningen en aansluitschema's bezoekt u de productpagina op onze website

Downloads

Brochures
IQ-FLOW Brochure
Manuals
Manual IQ-FLOW
Quick installation guide
Hook-up diagrams
RS232-RS485
Dimensional drawing
Dimensional drawing IQF-IQP 1-channel in-line
Solids 3D
IQF-100C-200C