Preconfigured Advanced (PA) Mass Flow / Pressure Controllers
FLEXI-FLOW Compact Preconfigured Advanced (PA) Mass Flow / Druk Controllers zijn geschikt voor nauwkeurige meting en regeling van flowbereiken tussen 0...5 mln/min en 0...20 ln/min bij procesdrukken tussen vacuüm en 17 bar(a). Het instrument combineert een snelle en stabiele thermische massflowsensor op basis van capillaire MEMS-technologie met een nauwkeurige en beproefde by-pass-constructie. Dankzij de unieke TCS-technologie (Through Chip Sensor) wordt een nauwkeurige massflowmeting tot stand gebracht, die nagenoeg onafhankelijk is van variaties in temperatuur en leidingdruk. In combinatie met geïntegreerde temperatuur- en up- en downstream druksensoren maakt de ingebouwde database voor 22 gassen nauwkeurige, on-board conversie mogelijk. De multi-parameter instrumenten verschaffen de gebruiker belangrijke procesinformatie.
FLEXI-FLOW Compact Preconfigured Advanced (PA) instrumenten bieden een turndown van 1:500, flow control + temperatuur output + voor- en nadruk output. Ze zijn momenteel verkrijgbaar voor 4 flowbereiken (FS, gebaseeerd op N2):
Type FF-A005 - 5 mln/min
Type FF-A020 - 20 mln/min
Type FF-A050 - 50 mln/min
Type FF-A200 - 200 mln/min
Type FF-A500 - 500 mln/min
Type FF-A2K0 - 2 ln/min
Type FF-A5K0 - 5 ln/min
Type FF-A20K - 20 ln/min