Waar ben je naar op zoek?
Bronkhorst
Datasheet F-201CM

EL-FLOW Metal Sealed F-201CM

Metal Sealed Massflowregelaar voor gassen

  • Gepatenteerde metaal afdichting zorgt voor een langdurig veilige lekdichtheid (naar buiten)
  • Hoge opppervlaktekwaliteit van de metalen onderdelen
  • Cleanroom geassembleerd
  • Hoge nauwkeurigheid, uitstekende herhaalbaarheid
  • Multi Gas / Multi Range functionaliteit (optie)
  • Snelle responsetijd (tot 600 msec)
Vraag offerte aan Downloads Datasheet
EL-FLOW Metal SealedF-201CM

Metal Seals Gas Massflowregelaars

Bronkhorst® model F-201CM Massflowregelaars (MFC’s), speciaal ontworpen om te voldoen aan de eisen van de semicon markt en andere zeer zuivere gastoepassingen. De instrumenten hebben een hoge oppervlaktekwaliteit en zijn modulair opgebouwd met metaal-op-metaal afdichtingen die een langdurige lekdichtheid garanderen. De F-201CM is geschikt voor het nauwkeurig meten van flowbereiken tussen 0,12…6 sccm up to 1…50 slm (gebaseerd op N2) bij een werkdruk tussen vacuüm en 1000 psig (64 bar). 
 
De EL-FLOW® Metal Sealed serie is uitgerust met een digitale printplaat, die een hoge nauwkeurigheid, uitstekende temperatuurstabiliteit en snelle respons biedt. De belangrijkste digitale printplaat bevat alle algemene functies die nodig zijn voor meting en controle. Naast de standaard RS232 uitgang bieden de instrumenten ook analoge I/O. Als optie kan een on-board interface worden gemonteerd voor CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII of TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK of FLOW-BUS protocollen. Het EL-FLOW® Metal Sealed-ontwerp is voorzien van optionele Multi Gas / Multi Range-functionaliteit, waardoor (OEM-)klanten optimale flexibiliteit en procesefficiëntie krijgen. 

Technische specificaties

Meet- / regelsysteem
Flowbereik (tussenliggende bereiken beschikbaar)min. 0,12…6 mln/min
max. 1…50 ln/min
Nauwkeurigheid (incl. lineariteit) (gebaseerd op actuele kalibratie)±0,5% Rd plus ±0,1% FS
Herhaalbaarheid< 0,2 % RD
Turndown ratio1:150 (1:50 in analoge modus)
Max. bedrijfsdruk1000 psig (64 bar)
Multi-fluid mogelijkheidopslag van max. 8 kalibratiecurven;
optionele Multi Gas / Multi Range-functionaliteit tot 10 bar abs
Settling time (in regeling, typisch)1 second typical above 5% FS;
option: down to 600 msec
Stabiliteit van de regeling± 0.05% FS (typical for 1 slm N2)
Bedrijfstemperatuur-10…+70°C (Viton or EPDM valve seat);
0…70°C (NC valve with Kalrez 6375 seat);
0…50°C (NO valve with Kalrez 6375 seat)
Montageelke positie, standgevoeligheid verwaarloosbaar
Temperatuurgevoeligheidzero: < 0.05% FS/°C; span: < 0.05% Rd/°C
Drukgevoeligheid< 0,1% Rd/bar typical N2;
< 0,01% Rd/bar H2
Lekdichtheid, naar buiten< 2 x 10-11 Pa.m3/s He
Lek door gesloten klep< 10-5 Pa.m3/s He (metal sealed)
Opwarmtijd30 minuten. voor optimale nauwkeurigheid
2 min. voor nauwkeurigheid ± 2% FS
Mechanische delen
Materiaal (onderdelen die in contact komen met het medium)stainless steel 316L or comparable
Procesaansluitingen1/4” face seal male
AfdichtingenOuter seals: metal-to-metal (no rings);
Inner seal / valve seat: Kalrez® (FFKM)
Gewicht0,7 kg
Beschermingsgraad (behuizing)IP40
Elektrische eigenschappen
Stroomvoorziening+ 15 … 24 Vdc
Max. stroomverbruik
Voeding
15 V
24 V		 bij spanning I/O
290 mA
200 mA		 bij stroom I/O
320 mA
215 mA		 extra voor veldbus
<75 mA
<50 mA
Analoog signaal0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)
Digitale communicatiestandard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII of TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS
Elektrische aansluiting
Analoog/RS2329-pin D-connector (male);
PROFIBUS DPbus: 9-pin D-connector (female);
power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™5-pin M12-connector (male);
FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCIIRJ45 modular jack
Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK2 x RJ45 modular jack (in/out);
EtherCAT®/ PROFINET2 x RJ45 modular jack (in/out)
Control valve options
Externe actuatoropties die op de controller moeten worden aangesloten
Certificering voor explosiegevaarlijke zones
Goedkeuringen / certificaten

Technische specificaties kunnen zonder kennisgeving worden gewijzigd.

Voor technische maattekeningen en aansluitschema's bezoekt u de productpagina op onze website

Downloads

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure
Manuals
Quick start guide EL-FLOW Metal Sealed
Manual EL-FLOW Select
Hook-up diagrams
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations
Dimensional drawings
Dimensional drawing F-201CM
Dimensions Digital Cases
Download als PDF

Bronkhorst High-Tech designs and manufactures innovative instruments and subsystems for low-flow measurement and control for use in laboratories, machinery and industry. Driven by a strong sense of sustainability and with many years of experience, we offer an extensive range of (mass) flow meters and controllers for gases and liquids, based on thermal, Coriolis and ultrasonic measuring principles. Our global sales and service network provides local support in more than 40 countries. Discover Bronkhorst®!