Metal Sealed Gas Massflowmeters
Bronkhorst® model F-111CM Massflowmeters (MFM’s), speciaal ontworpen om te voldoen aan de eisen van de semicon markt en andere zeer zuivere gastoepassingen. De instrumenten hebben een hoge oppervlaktekwaliteit en zijn modulair opgebouwd met metaal-op-metaal afdichtingen die een langdurige lekdichtheid garanderen. De F-111CM is geschikt voor het nauwkeurig meten van flowbereiken tussen 0,12…6 sccm up to 1…50 slm (gebaseerd op N2) bij een werkdruk tussen vacuüm en 1450 psig (100 barg).
De EL-FLOW® Metal Sealed serie is uitgerust met een digitale printplaat, die een hoge nauwkeurigheid, uitstekende temperatuurstabiliteit en snelle respons biedt. De belangrijkste digitale printplaat bevat alle algemene functies die nodig zijn voor meting en controle. Naast de standaard RS232 uitgang bieden de instrumenten ook analoge I/O. Als optie kan een on-board interface worden gemonteerd voor CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII of TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK of FLOW-BUS protocollen. Het EL-FLOW® Metal Sealed-ontwerp is voorzien van optionele Multi Gas / Multi Range-functionaliteit, waardoor (OEM-)klanten optimale flexibiliteit en procesefficiëntie krijgen.