가스용 열식 질량유량센서

CTA (Constant Temperature Anemometry) 원리

CTA - 가스 유량 센서는 두 개의 스테인리스 스틸 튜브로 구성됩니다. 첫 번째 튜브는 히터이고 두 번째 튜브는 온도 센서 입니다. 튜브 사이에 일정한 온도 차이(ΔT)가 생성됩니다.

실제 유량에 관계없이 CTA는 두 센서 핀 사이의 delta-T 또는 온도 차이(ΔT)를 일정한 수준으로 유지하는 것을 목표로 합니다. 

이 일정한 ΔT를 유지하는데 필요한 유량과 히터 에너지는 비례하므로 가스의 질량 흐름을 나타냅니다. 실제 질량 유량은 가스가 센서를 통해 흐를 때 이 온도 차이를 일정하게 유지하는데 필요한 가변 출력을 측정하여 계산합니다.

바이패스가 있는 기존의 질량 유량계 및 질량 흐름 컨트롤러에 비해 직접 측정 CTA 원리의 구성은 습도와 오염에 덜 민감합니다.