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열식 질량 유량 측정 원리

열식 질량 유량계와 컨트롤러는 기체와 액체 모두 유체의 열 전도율을 이용하여 질량 유량을 결정합니다. VA 유량계 및 터빈 유량계와 같은 부피 유량계와 달리, 열식 질량 유량계(MFM) 및 질량 유량 컨트롤러(MFC)는 유입 유량의 온도 및 압력 변동에 상대적으로 영향을 받지 않습니다.

Working principle Thermal Mass Flow sensor for gases

열식 질량 유량계 및 컨트롤러의 작동 원리

브롱호스트 열식 질량 유량계 및 컨트롤러는 실제로 분자 수준에서 흐름을 측정하고 제어하기 때문에 매우 정확하고 재현성 있는 가스를 공정에 공급합니다.

열식 질량 유량계 및 컨트롤러는 세 가지 센서 원리로 나눌 수 있습니다.

  1. 바이패스 원리를 이용한 가스용 열식 질량 유량 센서
  2. 인라인/CTA 원리를 이용한 가스용 열식 질량 유량 센서
  3. 인라인/CTA/CPA 원리를 이용한 액체용 열식 질량 유량 센서


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