질량 유량 컨트롤러란 무엇입니까?

질량 흐름 컨트롤러에 대한 3단계 정보

1. 질량 흐름 컨트롤러는 어떻게 작동합니까?
2. 체적 흐름 대신 질량 흐름을 제어하는 이유는 무엇입니까?
3. 어떠한 종류의 질량 흐름 컨트롤러가 존재합니까?

1. 질량 흐름 컨트롤러는 어떻게 작동합니까?

질량 흐름 컨트롤러는 유량을 정확하게 제어함으로써 하나 이상의 화합물(가스 또는 액체)을 공정에 공급하는 장치입니다. 공급될 화합물의 유량은 전압, 전류 또는 디지털(필드버스) 소스에 의해 전자적으로 설정됩니다. 제품을 통해 흐르는 가스 또는 액체의 양은 내부 센서에 의해 측정되며, 측정값은 설정한 값과 비교됩니다. 두 값이 동일해지도록 제어 밸브가 흐름을 조절합니다. 

기본적으로 질량 흐름 컨트롤러는 센서와 밸브 사이의 제어 밸브 및 전자 피드백 기능이 결합된 질량 유량계(즉, 센서)입니다. 이 제어 기능(PID(proportional-integral-derivative))은 종종 제품 전자 장치의 표준 부품인 반면, 사용자 프로그램을 이용하여 빠르고 원활한 제어를 위해 기능을 조정할 수 있습니다.
 

2. 체적 흐름 대신 질량 흐름을 제어하는 이유는 무엇입니까?

많은 연구와 생산 과정에서 중요한 변수는 부피가 아니라 질량입니다. 질량 흐름 컨트롤러는 질량 흐름을 직접 제어할 수 있습니다. 기체나 액체의 질량은, 공정의 작동 온도나 압력에 관계없이 독립적인 값입니다. 따라서 질량 흐름 장치는 유입되는 유체의 온도 및 압력의 변동에 영향을 받지 않습니다.

압축된 가스 흐름을 체적 흐름으로 표현하려는 사용자의 선호에 따라, 질량 흐름이 체적 흐름으로 전환되는 합의 조건이 필요합니다. 이러한 'normal'기준의 조건은 0 °C의 온도와 1 atm의 절대 압력으로, 사용 체적 단위에 'n'이 첨자됩니다.

3. 어떠한 종류의 질량 흐름 컨트롤러가 존재합니까?