MASS FLOW METERS AND CONTROLLERS FOR LIQUIDS - µ-FLOW series

µ-FLOW 액체용 질량 유량계/컨트롤러

초 저유량 측정/제어

µ-FLOW 디지털 액체 유량계/컨트롤러는 열식(Thermal) 관류 측정원리(through-flow measuring principle)로 동작합니다. 해당 계측기는 자가진단, 알람 및 적산기능 디지털 통신(RS232) 및 다양한 필드버스 옵션이 탑재된 PC-board가 장착되어 있습니다.

최소 유량 범위 5 ... 100 mg/h
최대 유량 범위 0,1 ... 2 g/h (H₂O 기준)

문의 요청

질량 유량계 / 질량 유량 컨트롤러 빠른 링크

Full Scale capacities (based on H₂O) versus Pressure Rating

PN 400 bar (Mass Flow Meter)	PN 100 bar (Mass Flow Controller)
L01 \| 0,1…2 g/h	L01V12 \| 0,1…2 g/h

특징

가동 부품(움직이는 파트) 없음
관류 측정
진동에 민감하지 않음
빠르고 정확한 유량 측정
매우 작은 데드볼륨 (센서: 1,5...33 µl)
제어 밸브와의 조합 : 안정적이고 지속적인 조절
아날로그 및 RS232, PROFIBUS DP, DeviceNet™, Modbus,또는 FLOW-BUS
스테인리스 강 센서
요청 시 : 최대 1000bar(15000psi) 정격 압력

액체용 질량 유량계/컨트롤러

액체 유량계

µ-FLOW 시리즈의 액체 질량 유량계는 움직이는 부품 또는 장애물 없이 스테인리스 튜브로 제작되었습니다. 히터/센서 모듈은 튜브에 배치되었으며, 유속원리에 따라 일정한 온도차(ΔT)가 생성되고, 이 온도차를 유지하기 위한 에너지는 질량유량에 따라 달라집니다. 당사의 특허받은 특별한 센서의 장점으로 인해 유체는 최대 5°C로 가열됩니다. 따라서 µ-FLOW 시리즈는 비등점이 낮은 유체에 적합합니다.

액체 유량 컨트롤러

유량 제어는 액체유량계 몸체에 장착되어 있는 통합 제어밸브를 통해 이루어집니다. 이 제어밸브는 Purge 커넥터를 통해 사용 시 남아있는 공기 또는 가스를 제거할 수 있습니다. 전자제어기능은 일반 유량계와 동일합니다.