IQ+FLOW® 초소형 질량 유량계/컨트롤러
세상에서 가장 작은 질량 유량계/컨트롤러
장비 제조업체는 시스템의 가스 흐름이나 압력을 모니터링하거나 제어할 수 있는 소형 솔루션을 찾고 있습니다.이전에는 NeSSI™ 시스템에 명시된 바와 같이 기존의 질량 흐름과 압력계 및 컨트롤러에는 1.5" 정도의 설치 공간이 필요했습니다.
이제, 네덜란드의 선도적은 응용 물리학 연구소인 TNO-TPD와 긴밀히 협력하여 브롱호스트는 IQ+FLOW® 질량 흐름 센서를 개발하였습니다. Micro solid state technology(MEMS)를 사용하여 브롱호스트는 제품의 폭 사이즈를 0.75" 정도로 절반으로 줄일 수 있었고, 따라서 초소형 유량 및 압력계/컨트롤러를 구현할 수 있었습니다.
- 최소 유량 범위 0,2...10 mln/min
- 최대 유량 범위 0,1...5 ln/min
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