F-200CV

(초)저유량을 위한 가스용 질량 흐름 컨트롤러

브롱호스트 모델 F-200CV 질량 흐름 컨트롤러(MFC)는 진공과 64bar 사이의 압력에서 0,014…0,7 ml_n/min 및 0,6…9 ml_n/min 사이의 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는데 적합합니다. MFC는 열 질량 흐름 센서(thermal mass flow sensor)와 정밀한 제어 밸브 및 필드버스 변환 기능이 있는 마이크로프로세서 기반의 PC-Board로 구성됩니다. 설정값을 입력함으로써, 흐름 컨트롤러 원하는 유량을 신속하게 조정합니다.

EL-FLOW^® Select 시리즈는 디지털 PC-board를 탑재하여 높은 정확도와 우수한 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 메인 디지털 PC-board에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 계측기는 표준 RS-232 출력 외에도 아날로그 I/O을 제공합니다. 옵션으로 On-board 인터페이스를 탑재하여 통신 프로토콜(CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUS)을 제공합니다.

기술 정보

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available)	min. 0,014…0,7 ml_n/min max. 0,18…9 ml_n/min (based on N₂)









정확도 (선형도) (실제 검교정 기반)	±0,8% Rd plus ±0,2% FS F-200CV-005; ±2% FS for F-200CV-002




Repeatability	< 0,2 % RD
Turndown ratio	up to 1:187,5 (1:50 in analog mode)














Multi fluid capability	Storage of max. 8 calibration curves



Settling time (in control, typical)	2 … 4 sec.



Control stability	≤ ± 0,1 % FS


Operating temperature	-10 … +70 °C



Temperature sensitivity	zero: < 0,05% FS/°C; span: < 0,05% Rd/°C








Pressure sensitivity	< 0,1% Rd/bar typical N₂; 0,01% Rd/bar typical H₂
Max. Kv-value	6,6 x 10^-2


Leak integrity, outboard	tested < 2 x 10^-9 mbar l/s He



Attitude sensitivity	max. error at 90° off horizontal 0,2% at 1 bar, typical N₂
Warm-up time	30 min. for optimum accuracy 2 min. for accuracy ± 2% FS

Mechanical parts







Material (wetted parts)	Stainless steel 316L or comparable


Pressure rating (PN)	64 bar abs





Process connections	compression type or face seal (VCR/VCO) couplings

Seals	standard: FKM/Viton®; options: EPDM, FFKM/Kalrez®, FDA and USP Class VI approved compounds
Weight	0,6 kg
Ingress protection	IP40

Electrical properties

Power supply

+15 … 24 Vdc

Max. power consumption

Supply
15 V
24 V

at voltage I/O
290 mA
200 mA

at current I/O
320 mA
215 mA

extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA

아날로그 출력

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)

Digital communication

standard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS

Electrical connection
아날로그/RS232	9-pin D-connector (male);



PROFIBUS DP	bus: 9-pin D-connector (female); power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™	5-pin M12-connector (male);

FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCII	RJ45 modular jack

Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK	2 x RJ45 modular jack (in/out);



EtherCAT®/ PROFINET	2 x RJ45 modular jack (in/out)

Control valve options

External actuator options to be connected to the controller

Certification for hazardous areas

Approvals / certificates

Downloads

Brochures
EL-FLOW Select brochure
EL-FLOW Select flow range table

Manuals
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select

Hook-up diagrams
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations

Dimensional drawing
Dimensional drawing F-200CV-F-210CV-F-200DV
Dimensions Digital Cases
Dimensions Adapters

Solids 3D
F-200CV EL-FLOW

EL-FLOW Select F-200CV

(초)저유량을 위한 가스용 질량 흐름 컨트롤러

기술 정보

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