F-111B

저유량을 위한 가스용 질량 유량계

브롱호스트 모델 F-111B 질량 유량계(MFM)는 진공과 100bar 사이의 압력에서 0,16…8 ml_n/min 및 0,16…25 l_n/min 사이의 유량을 정밀하게 측정하는데 적합합니다. MFM은 열 질량 흐름 센서(thermal mass flow sensor)와 신호 및 필드버스 변환 기능이 있는 마이크로프로세서 기반의 PC-Board 및 별도로 장착된 제어 밸브를 통한 질량 흐름 제어를 위한 PID 컨트롤러로 구성됩니다.

EL-FLOW^® Select 시리즈는 디지털 PC-Board를 탑재하여 높은 정확도와 우수한 온도 안정성 및 빠른 응답을 제공합니다. 메인 디지털 PC-Board에는 측정 및 제어에 필요한 모든 일반 기능이 포함되어 있습니다. 계측기는 표준 RS-232 출력 외에도 아날로그 I/O을 제공합니다. 옵션으로 On-board 인터페이스를 탑재하여 통신 프로토콜(CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUS)을 제공합니다. EL-FLOW^® Select 디자인은 Multi Gas/Multi Range 옵션 기능을 갖추고 있어 (OEM)고객에게 최적의 유연성과 프로세스 효율성을 제공합니다.

기술 정보

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available)	min. 0,16…8 ml_n/min max. 0,16…25 l_n/min (based on N₂)









정확도 (선형도) (실제 검교정 기반)	± 0,5 % RD plus ±0,1% FS




Repeatability	< 0,2 % RD
Turndown ratio	up to 1:187,5 (1:50 in analog mode)














Multi fluid capability	storage of max. 8 calibration curves; optional Multi Gas / Multi Range functionality up to 10 bar abs
Response time (sensor)	typical 0,5 sec.









Operating temperature	-10 … +70 °C



Temperature sensitivity	zero: <0,05% FS/°C; span: <0,05% Rd/°C








Pressure sensitivity	< 0,1% Rd/bar typical N₂; 0,01% Rd/bar typical H₂



Leak integrity, outboard	tested < 2 x 10^-9 mbar l/s He



Attitude sensitivity	max. error at 90° off horizontal 0,2% at 1 bar, typical N₂
Warm-up time	30 min. for optimum accuracy 2 min for accuracy ± 2% FS

Mechanical parts







Material (wetted parts)	Stainless steel 316L or comparable


Pressure rating (PN)	100 bar abs





Process connections	compression type or face seal (VCR/VCO) couplings

Seals	standard: FKM/Viton®; options: EPDM, FFKM/Kalrez®, FDA and USP Class VI approved compounds
Weight	0,5 kg
Ingress protection	IP40

Electrical properties

Power supply

+15 … 24 Vdc

Max. power consumption meter

Supply
15 V
24 V

at voltage I/O
95 mA
65 mA

at current I/O
125 mA
85 mA

extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA

Max. Power consumption controller

Supply
15 V
24 V

at voltage I/O
290 mA
200 mA

at current I/O
320 mA
215 mA

extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA

아날로그 출력

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)

Digital communication

standard: RS232;
Options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS

Electrical connection
아날로그/RS232	9-pin D-connector (male);



PROFIBUS DP	bus: 9-pin D-connector (female); power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™	5-pin M12-connector (male);

FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCII	RJ45 modular jack

Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK	2 x RJ45 modular jack (in/out)



EtherCAT®/ PROFINET	2 x RJ45 modular jack (in/out)

Control valve options

External actuator options to be connected to the controller

Certification for hazardous areas

Approvals / certificates

Downloads

Brochures
EL-FLOW Select brochure
EL-FLOW Select flow range table

Manuals
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select

Hook-up diagrams
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations

Dimensional drawing
Dimensional drawing F-111B
Dimensions Digital Cases
Dimensions Adapters

EL-FLOW Select F-111B

저유량을 위한 가스용 질량 유량계

기술 정보

Recommended accessories

Low Flow Serie M-411

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