EL-FLOW® METAL SEALED MASS FLOW METERS / CONTROLLERS

EL-FLOW® Metal Sealed 질량 유량계 / 컨트롤러

고순도 가스 공급

Metal Sealed 가스 질량 유량계 및 컨트롤러는 특허를 받은 고유한 금속 씰 구조이며 리실링 기능이 뛰어난 것이 특징입니다. 또한 높은 표면 품질로 반도체(semiconductor) 및 태양광(solar) 산업의 요구조건은 물론 다른 고순도 가스 용도에 특히 적합합니다. 질량 유량계 및 컨트롤러의 기본 사양으로 1/4" face seal(VCR) 연결부가 있습니다.

최저 유량 범위 0,12...6 ml_n/min
최고 유량 범위 1... 50 l_n/min

Metal Sealed 질량 유량계 / 컨트롤러 필드버스 인터페이스

현재의 계측기에는 디지털 pc-board가 장착되어 있어 고정밀, 뛰어난 온도 안정성 및 빠른 응답(settling time t98에서 500msec까지)을 제공합니다. 최신 EL-FLOW^®설계는 Multi Gas / Multi Range 기능을 갖추고 있어 (OEM) 고객에게 최적의 유연성과 프로세스 효율성을 제공합니다. 고객의 편의를 위해 브롱호스트는 사용하기 쉬운 소프트웨어를 제공합니다.

문의 요청

Quick link to Mass Flow Meter/Controller model pages

Full Scale capacities (based on N₂) and pressure rating

Mass Flow Controller	Mass Flow Meter
PN 64 bar	PN 100 bar
F-201CM \| 0,006 ... 50 l_n/min	F-111CM \| 0,006 ... 50 l_n/min

특징

금속 - 금속 외부 seal 구조 (no rings)
가스 접촉 부품의 높은 표면 품질
클린룸 조립
선택적으로 통합된 인터페이스를 갖춘 아날로그 및 디지털 I/O MBC3Lab.Connections
높은 정확도 및 재연성
다양한 프로세스에서 안정적인 제어 가능

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Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

Manuals
Quick installation guide EL-FLOW Select
Manual EL-FLOW Select (incl. EL-FLOW Metal Sealed)