질량 유량 컨트롤러를 이용한 N2 퍼지

FOUP

OHB(Overhead Buffer)는 다음 공정 단계를 기다리는 동안 웨이퍼를 FOUP 박스(Front Opening Universal Pod)에 일시적으로 보관하는데 사용됩니다. 로드 포트(loading/unloading 모듈)는 실리콘 웨이퍼를 반도체 공정 장비에 로드하는데 사용되며, 그 청정도는 생산 수율에 영향을 미치는 중요한 요소입니다. 따라서 웨이퍼 취급 및 저장 장비의 성능은 반도체 제조에서 고려되어야 할 부분입니다. 최적의 웨이퍼 취급/저장 공정은 웨이퍼 금속의 산화 또는 전도물질의 손상을 유발할 수 있는 수분, 파티클 및 산소를 최소화합니다. 
 

중요한 주제

• 질량 유량계/질량 유량 컨트롤러의 정확성 및 일관된 재현성
• 고객의 요구사항에 부합하는 최적화된 제품으로 비용 절감
• 주문제작형 제품 디자인으로 제품 설치 공간 감소
• 제어 및 추적 가능한 제조 방법을 통해 청정도 향상

프로세스 솔루션

이 프로세스에서 초고순도(UHP) N₂  퍼지(A) / 클린하고 드라이한 Air 퍼지(B)의 모니터링 및 제어는 질량 유량 컨트롤러의 주요 기능입니다. 구형 팹에서는 CDA 퍼지(B)가 일반적이나 신형 팹에서는 UHP N₂ 퍼지(A)를 주로 사용합니다.
 

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