蒸気制御'CEM'の理論と特長
室温下にて、液体(化学反応の前駆体や加湿のための水)が不活性ガス雰囲気下の加圧により、または膜を通して原液容器からくみ上げられ、液体用マスフローメータにより流量が測定されます。設定値により指定された体流量は制御弁(C, Control valve)により制御され、この制御弁は独自の気液混合弁(M, Mixing)の一部を構成しています。混合弁内で形成された気液混合物は気化器に導入され、完全に気化(E, Evaporation)されます。これがブロンコストの液体搬送システムCEM(Control - Evaporation - Mixing)の3つの基本的な機能の説明です。これにCEM運転のための電源内蔵表示設定器を加えるとシステムが完成します。