Bronkhorst

圧力測定原理

ブロンコスト(Bronkhorst®)の圧力センサEL-PRESSははシリコンチップ上のピエゾ感圧素子を圧力測定に利用します。このチップは反対側まで掘削されており、チップ内部が圧力ダイヤフラムとなり、その厚さが圧力レンジを決定します。圧力がチップに作用すると、ダイヤフラムが変形し、圧力に比例してブリッジの抵抗値が変化します。測定セルは薄く繊細なステンレス鋼製ダイヤフラムにより外圧から隔てられており、ダイヤフラムとセルの間に油が満たされた状態でシールされキャビティを形成しています。

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ブロンコストの圧力メータ・コントローラのラインナップ:


ブロンコスト・ジャパン株式会社
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