マスフローメータ/コントローラEL-FLOW® Prestigeにはどのガスが入っていますか?
ガスの性質は温度・圧力変化に応じて変動致します。サーマルマスフローメータ・コントローラEL-FLOW Prestigeはリアルタイム、オンボードの流体物性計算に実際の温度(および圧力、該当時のみ)を測定・利用致します。それゆえ、マスフローメータ・コントローラEL-FLOW Prestigeは機器自体にガス情報のデータベースを備えております(Fluidat-On-Board”)。機器には以下のガス情報が載っております。
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