IQ+FLOW® 超コンパクト圧力メータ / コントローラ

MEMS技術ベースの圧力センサ

装置メーカー様はシステム内に搭載するガス流量や圧力の測定・制御のためのコンパクトなソリューションをお探しです。スペース効率の観点から、分析、バイオテクノロジー、医薬などの分野の卓上装置は極力小さいことが望まれます。

TNO-TPD(オランダの先端的な応用物理研究所)と共同で、ブロンコストはIQ⁺FLOW^®マスフローセンサを開発しました。更に、この製品に搭載すべく小型の圧力センサとステンレス製小型バルブも開発されました。マイクロソリッドステート技術(MEMS)技術の採用により、ブロンコストは超コンパクト流量 / 圧力メータ / コントローラのフットプリントを20 mm x 40 mmにまで低減させることに成功しました。IQ+FLOW圧力メータ・コントローラにはオプションでステンレス製金属センサが搭載可能で、多様な流体に対応可能です。

• 最小レンジ 1 ... 50 kPa (絶対圧/ゲージ圧)
• 最大レンジ 0.02 ... 1 MPa (絶対圧/ゲージ圧)

お客様向けデザイン

IQ⁺FLOW^®シリーズに採用のMEMS技術により、ブロンコストは小型のモジュール上に様々な機能モジュールを搭載することも可能です。詳細はIQ+FLOW マニフォールド・ソリューションをご覧下さい。