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Datasheet EL-PRESSメタルシール
メタルシール型圧力メータ / コントローラ - EL-PRESS メタルシールシリーズ

EL-PRESS メタルシール圧力メータ / コントローラ

高純度ガス供給のために

Bronkhorst® EL-PRESS メタルシール圧力メータ / コントローラの特徴は、特許取得済の優れた再シール性を有するメタルtoメタルシール構造です。さらに、それらは高い表面品質を有するため、半導体分野やその他の高純度ガスアプリケーションの要求を満たすのに特に適しています。圧力メータとコントローラーのベースブロックには、削り出しの1/4" 金属面シールコネクタ(VCR male)があります。

  • 最小レンジ 0.2 ... 10 kPa (0.029 ... 1.43 psi) (絶対圧/ゲージ圧)
  • 最大レンジ 0.128 ... 6.4 MPa (18 ... 900 psi) (絶対圧/ゲージ圧)

現行の製品にはデジタルPCボード(電子基板)が搭載されており、高い精度、優れた温度安定性、高速応答をもたらします。

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特徴

  • 再シール可能なメタルtoメタル外部シール構造(リングなし)
  • 中接触部品の高い表面品質
  • クリーンルーム組立
  • アナログおよびデジタルI/O、オプションのCANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUS統合インターフェース
  • 高い精度と繰り返し性
  • プロセス容積変動時も安定した圧力制御

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カタログ
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure
取扱説明書
Manual EL-PRESS
Quick installation guide EL-PRESS
Hook-up diagrams
Analog IO - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
Optional Bus and IO Configurations
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〒135-0016
東京都江東区東陽5-27-5
Tel.  03-3645-1371

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