液体用マスフローメータ・コントローラ
液体用マスフローメータ
液体用マスフローメータµ-FLOWシリーズのセンサーは可動部品や流れを阻害する部品がないステンレス鋼製チューブにより構成されています。ヒーター・センサーアセンブリーがチューブの外側に取り付けられ、一定のエネルギーでチューブ内の流体を昇温します。流体が流れるとチューブ内の温度差(ΔT)の分布がシフトし、これが質量流量に比例します。独自のセンサーにより液体の昇温は最大5°C程度に抑えられるため、µ-FLOWシリーズは低沸点の液体に適しています。
液体用フローコントローラ
流量制御は、液体流量計の本体に制御弁を統合することによって実現されます。このコントロールバルブには、始動時に空気またはガスを排除するためのパージコネクタがあります。PIDコントローラはメータの通常の制御回路に標準搭載されています。