IQ+FLOW® 超コンパクトマスフローメータ・コントローラ
世界最小のマスフローメータ・コントローラ
装置メーカー様はコンパクトなガス流量/圧力測定/制御ソリューションをお探しです。これまでは、通常のマスフロー/圧力メータ/コントローラはNeSSI™システムで規定されているようにフットプリント1.5"を要しました。
TNO-TPD(オランダの先進的な応用物理研究所)とブロンコストは共同で、IQ+FLOW®マスフローセンサーを開発しました。マイクロソリッドステート(MEMS)技術により、ブロンコストはマスフロー/圧力メータ/コントローラのフットプリントを0.75"に小型化することに成功しました。
- 最小レンジ 0.2...10 mln/min
- 最大レンジ 0.1...5 ln/min
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サーマルマスフロー測定に関する詳細情報