FLEXI-FLOW™ ガス用小型マスフローメータ・コントローラ

マスフロー・圧力測定・制御における新標準

Mass Flow Control #Redefined

新しいFLEXI-FLOW Compactシリーズには安定・高速応答のチップセンサーと高精度・高信頼性のバイパス技術が盛り込まれております。小型で確信的な機器は、マスフロー測定・制御における革新的な進歩です。

マルチパラメータ測定：1つの機器で流量・温度・圧力測定
Bluetoothと包括的なアプリケーションによるシンプルで安全な接続
オンボードガスデータベースとリアルタイムコンバージョンによる優れた精度
NAMURステータス表示によるプロセスに関する情報の常時把握
広い測定・制御のダイナミックレンジにより、多様なアプリケーションに適応可能

3種のFLEXI-FLOW™ Compactシリーズ：

構成済み・拡張版（Preconfigured Advanced：PA） - 8つのレンジ（Full Scale：FS = 5/20/50/200 ml_n/min / 0.5/2/5/20 l_n/min、N₂ベース）のMFC、ターンダウン1:500、流量+圧力+温度測定
構成済み・標準版（Preconfigured Standard：PS） - 4つのレンジ（Full Scale：FS = 0.5/2/5/20 l_n/min、N₂ベース）のMFC、ターンダウン1:50、流量+温度測定
受注生産版（Built-to-Order：BtO） - MFCとMFM、最小5 ml_n/minから最大20 l_n/min（N₂ベース）の間から任意にレンジを選択、ターンダウン1:1000；マルチチャネル版（最大8チャネル）も含みます

お問い合わせ

Quick link to Mass Flow Meter/Controller model pages

Full Scale capacities (based on N₂) and pressure rating

Mass Flow Controller	Mass Flow Meter
PN 16 bar	PN 16 bar
FF-C10/FF-C11 Compact MFC \| 0,5 ... 20 l_n/min	FF-M10/FF-M11 Compact MFM \| 0,5 ... 20 l_n/min

Flow factor and conversion

To determine which model is suitable for process gases other than N₂, the Full Scale (FS) flow must be multiplied by the below-mentioned 'flow factor'. Note: This factor may be different for a flow meter or a flow controller.
The high-accuracy on-board FLUIDAT gas database ensures best in class conversion from N₂ to the customer gas. When converting one gas to another, a small uncertainty is introduced. Although gas properties and conversion model are very accurate, mechanical tolerances may cause slight deviations from the theoretical conversion values. Therefore and additional uncertainty [%Rd] is applied to the accuracy specification. When the best accuracy performance is required, calibration on actual process gas can be performed.

Download this table with visualisation of the flow range for each gas

for Preconfigured Standard (PS) variants (4 pages: 0,5/2/5/20 l_n/min)
for Preconfigured Advanced (PA) variants (8 pages: 5/20/50/200 ml_n/min and 0,5/2/5/20 l_n/min)

Name	Gas formula	Flow factor MFM	Flow factor MFC	Conversion uncertainty	Remarks
Acetylene	C2H2	0,6	0,6	±1,5% Rd
Air	Air	1	1	none
Allene	C3H4 #1	0,4	0,4	±1,5% Rd
Argon	Ar	1,3	0,8	±1,5% Rd
Carbon dioxide	CO2	0,7	0,7	±1,5% Rd	max. 10 bar
Carbon monoxide	CO	1	1	±1,5% Rd
Cyclopropane	C3H6 #1	0,4	0,4	±1,5% Rd
Deuterium	D2 #1	1	1	±1,5% Rd
Ethane	C2H6	0,5	0,5	±1,5% Rd
Ethylene	C2H4	0,6	0,6	±1,5% Rd	max. 10 bar
Helium	He	1,4	1,4	±1,5% Rd
Hydrogen	H2	1	1	±1,5% Rd
Krypton	Kr	1	0,6	±1,5% Rd
Methane	CH4	0,8	0,8	±1,5% Rd
Neon	Ne	1,4	1,2	±1,5% Rd
Nitrogen	N2	1	1	none
Nitrous oxide	N2O	0,7	0,7	±1,5% Rd
Oxygen	O2	1	0,9	none
Perfluoropropane	C3F8	0,15	0,15	±1,5% Rd	max. 10 bar
Propylene	C3H6 #2	0,4	0,4	±1,5% Rd	max. 10 bar
Propane	C3H8	0,3	0,3	±1,5% Rd
Propyne	C3H4 #2	0,4	0,4	±1,5% Rd

ダウンロード

カタログ
FLEXI-FLOW カタログ
FLEXI-FLOW Datasheet Advanced Functionalities

取扱説明書
FLEXI-FLOW 取扱説明書
FLEXI-FLOW 簡易操作手引き
継手取付要領（食い込み継手）
継手取付要領（プッシュイン継手）RS
継手取付要領（プッシュイン継手）ISO
Quick start guide FLEXI-FLOW shut-off

配線図
FLEXI-FLOW Compact Ethernet
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU/FLOW-BUS
FLEXI-FLOW Compact with shut-off valve Modbus-RTU / FLOW-BUS
FLEXI-FLOW Compact with shut-off valve Ethernet

Application stories

The FLEXI-FLOW Compact series can be used in multiple applications, especially in applications with benchtop bioreactors, analytical equipment and vacuum deposition processes. Read the application stories: