大流量向けガス用マスフローコントローラ
ブロンコスト(Bronkhorst®)のマスフローコントローラ(MFC)F-213AVは流量範囲4…200 ln/minから33…1670 ln/minまで、真空から10 MPaまでの圧力域での正確な流量測定・制御に適しております。MFCはサーマルマスフローセンサ、精密なコントロールバルブ(制御弁)とマイクロプロセッサベースの電子基板を搭載し、この電子基板は信号とフィールドバスの変換機能を含みます。設定値に応じて、フローコントローラは速やかにお望みの値に流量調節します。
EL-FLOW® Selectシリーズにはデジタル電子基板が搭載され、高精度、優れた温度安定性、高速応答を実現します。メインの電子基板は測定と制御のための一般的なあらゆる機能を含みます。標準のRS232通信に加え、機器はアナログI/Oにも対応致します。オプションの通信インターフェイスを搭載することにより、CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUSの各種通信プロトコルに対応可能です。