F-110C

最小流量向けガス用マスフローメータ

ブロンコスト（Bronkhorst^®）のマスフローメータ（MFM）F-110Cは流量範囲0.014…0.7 ml_n/minから0.6…9 ml_n/minまで、真空から10 MPaまでの圧力域での正確な流量測定に適しております。MFMはサーマルマスフローセンサとマイクロプロセッサベースの電子基板を搭載し、この電子基板は信号とフィールドバスの変換機能とPIDコントローラによる質量流量制御（別途設置の制御弁による）の機能を含みます。

EL-FLOW^® Selectシリーズにはデジタル電子基板が搭載され、高精度、優れた温度安定性、高速応答を実現します。メインの電子基板は測定と制御のための一般的なあらゆる機能を含みます。標準のRS232通信に加え、機器はアナログI/Oにも対応致します。オプションの通信インターフェイスを搭載することにより、CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUSの各種通信プロトコルに対応可能です。EL-FLOW^® Selectの設計上の特徴はオプションのマルチガス・マルチレンジ機能で、（OEM）顧客に理想的な柔軟性とプロセス効率をもたらします。

Technical specifications

Measurement / control system
Flow range (intermediate ranges available)	min. 0,014…0,7 mln/min max. 0,18…9 ml_n/min (based on N₂)









Accuracy (incl. linearity) (based on actual calibration)	±0,8% Rd plus ±0,2% FS for F-110C-005; ±2% FS for F-110C-002




Repeatability	< 0,2 % RD
Turndown ratio	up to 1:187,5 (1:50 in analog mode)














Multi fluid capability	storage of max. 8 calibration curves; optional Multi Gas / Multi Range functionality up to 10 bar abs
Response time (sensor)	FS < 3 ml_n/min: 2 sec; FS > 3 ml_n/min: 1…2 sec









Operating temperature	-10… +70 °C



Temperature sensitivity	zero: < 0,05% FS/°C; span: < 0,05% Rd/°C








Pressure sensitivity	< 0,1% Rd/bar typical N₂; 0,01% Rd/bar typical H₂



Leak integrity, outboard	tested < 2 x 10^-9 mbar l/s He



Attitude sensitivity	max. error at 90° off horizontal 0,2% at 1 bar, typical N₂
Warm-up time	30 min. for optimum accuracy 2 min. for accuracy ± 2% FS

Mechanical parts







Material (wetted parts)	Stainless steel 316L or comparable


Pressure rating (PN)	100 bar abs





Process connections	compression type or face seal (VCR/VCO) couplings

Seals	standard: FKM/Viton®; options: EPDM, FFKM/Kalrez®, FDA and USP Class VI approved compounds
Weight	0,4 kg
Ingress protection	IP40

Electrical properties

Max. power consumption meter

Supply
15 V
24 V

at voltage I/O
95 mA
65 mA

at current I/O
125 mA
85 mA

extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA

Max. Power consumption controller

Supply
15 V
24 V

at voltage I/O
290 mA
200 mA

at current I/O
320 mA
215 mA

extra for fieldbus
<75 mA
<50 mA

Analog output

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)

Digital communication

standard: RS232;
Options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS

Electrical connection
Analog/RS232	9-pin D-connector (male);



PROFIBUS DP	bus: 9-pin D-connector (female); power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™	5-pin M12-connector (male);

FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCII	RJ45 modular jack

Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK	2 x RJ45 modular jack (in/out)



EtherCAT®/ PROFINET	2 x RJ45 modular jack (in/out)

Control valve options

External actuator options to be connected to the controller

Certification for hazardous areas

Approvals / certificates

ダウンロード

カタログ
EL-FLOW Select カタログ
EL-FLOW Select 流量レンジ表

取扱説明書
簡易操作手引 EL-FLOW Select
取扱説明書 EL-FLOW Select

配線図
アナログI/O - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
オプションのBusとIO構成