MFC IQ+FLOW IQFD-200C monté en surface

Régulateurs de débit massique miniaturisés MEMS pour les gaz destinés aux applications OEM

Le régulateur de débit massique (MFC) IQFD-200C de la série IQ⁺FLOW^® de Bronkhorst^® permet une régulation précise de gaz secs, propres, non corrosifs et non explosifs. Ce MFC ultracompact dispose d'un capteur de débit massique thermique réalisé sur une puce (MEMS) et permet la régulation sur des plages de débit de 0,2 à 10 ml_n/min et de 0,1 à 5 l_n/min équivalent N₂ à des pressions de service comprises entre le vide et 10 bar rel. La communication avec les dispositifs se fait en mode analogique ou en mode numérique via RS232 ou RS485.

Il est généralement conseillé d'intégrer les instruments IQ⁺FLOW ultracompacts dans des équipements analytiques et médicaux.

Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)	min. 0,2…10 ml_n/min max. 0,1…5 l_n/min (based on N₂)









Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)	< ±1,5% RD + ±0,5% FS (Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)




Répétabilité	for flows < 20 ml_n/min: < ±0.5% FS; for flows > 20 ml_n/min: < ±0,5% RD
Rangeabilité	1:50 (2…100%)

Pression de fonctionnement	0 … 10 bar g






Média	Dry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N₂, Ar, He, CO₂ and H₂. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O₂, CO, …)





Capacité multi-fluides	Stockage de max. 8 courbes d'étalonnage



Temps de réponse (en régulation, standard)	t98% down to 300 msec, 700 msec typical






Température de fonctionnement	5 … 50 °C



Sensibilité à la température	span: 0,2% RD/°C; zero: 0,01 ml_n/min/°C









Valeur de Kv max.	2,37 x 10^-3


Etanchéité, vers l'extérieur	< 1 x 10^-8 mbar∙l/s He



Sensibilité à l'orientation	max. error at 90° off horizontal 0,5 ml_n/min at 1 bar, typical N₂

Parties mécaniques







Matériau (pièces en contact avec le fluide)	aluminium, Si, SiOx, epoxy; option: stainless steel body (SS316L)








Raccords de process	downported construction

Joints	standard: Viton®; other on request
Poids	120 g (Aluminium) / 180 g (SS316L)
Protection IP	IP40



Pression différentielle max. dans la vanne de régulation	9 bar dif.

Propriétés électriques
Echantillon du temps de lecture	2 msec
Alimentation électrique	+ 15 … 24 Vdc


Consommation d'électrique max.	100 mA







Sortie analogique	0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)







Communication numérique	RS232, RS485 (Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)

Raccordement électrique










Alimentation/Analogique/RS232/RS485	RJ45 modular jack

Options vanne de régulation

Options actionneur externe à connecter au régulateur

Certification pour les zones à risque d'explosion

Certifications / certificats

Téléchargements

Brochures
IQ-FLOW Brochure

Manuels
Manuel IQ-FLOW
Guide d'installation rapide

Schémas de câblage
RS232-RS485

Schéma d'encombrement
Schéma d'encombrement IQFD-IQPD 1-channel topmount

Solids 3D
IQFD-100C-200C

IQ+FLOW IQFD-200C Downported MFC

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Spécifications techniques

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