Régulateur de débit massique avec contrôle de pression pour les faibles débits de gaz
Les régulateurs de débit massique FLEXI-FLOW Compact permettent une mesure et une régulation précises sur des plages de débit de 0 à 500 mln/min et de 0 à 20 ln/min à des pressions de service comprises entre le vide et 17 bar(a). L’instrument est doté d’un capteur de débit massique thermique de technologie MEMS, à la fois stable et rapide, associé à la technologie éprouvée de by-pass. Grâce à la technologie unique TCS (Through Chip Sensor), une mesure précise du débit massique, indépendante des variations de température et de pression, est réalisée. Associée à des capteurs de température et de pression intégrés en amont et en aval, la base de données intégrée permet une conversion précise pour 22 gaz. Les instruments multi-paramètres fournissent des informations utiles à l'utilisateur concernant le procédé.
Les régulateurs de débit massique avec contrôle de pression FLEXI-FLOW Compact sont disponibles en 3 types :
- Avec 'Préconfiguration Avancée' (PA), rangeabilité 1:500, débit + température + pression amont et aval, 4 plages de débit (Pleine échelle, basée sur N2) :
Type FF-A500 - 500 mln/min
Type FF-A2K0 - 2 ln/min
Type FF-A5K0 - 5 ln/min
Type FF-A20K - 20 ln/min
- Avec 'Préconfiguration Standard' (PS), rangeabilité 1:50, débit + température, 4 plages de débit (Pleine échelle, basée sur N2) :
Type FF-S500 - 500 mln/min
Type FF-S2K0 - 2 ln/min
Type FF-S5K0 - 5 ln/min
Type FF-S20K - 20 ln/min
- 'Fabrication à la demande (Built-to-Order/BtO)’, rangeabilité 1:1000; sélection libre des gammes de débit entre 0,5 et 20 ln/min (Pleine échelle, basée sur N2),
Type FF-C10: débit + température
Type FF-C11: débit + température + pression amont et aval;
Les modèles BtO peuvent également être utilisés pour la configuration de versions multi-voies jusqu’ 8 voies.