EL-FLOW Metal Sealed F-201CM

Régulateur de débit massique tout métal pour gaz

La construction brevetée métal-métal assure une étanchéité à long terme (vers l'extérieur)
Qualité de surface supérieure des pièces en contact avec le fluide
Assemblé en salle blanche
Grande précision, excellente répétabilité
En option : fonctionnalité Multi-Gaz / Multi-Gammes
Temps de chauffe rapide (inférieur à 600 msec)

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Régulateurs de débit massique Metal Sealed pour les gaz

Le régulateur de débit massique (MFC) F-201CM de Bronkhorst^® est spécialement conçu pour répondre aux exigences du marché des semi-conducteurs et autres applications de gaz de grande pureté. Ces instruments sont dotés d'un état de surface supérieur et offrent une construction modulaire. Cette série intègre des joints métal qui assurent une étanchéité à long terme. Elle est assemblée et étalonnée en salle blanche. Le modèle F-201CM permet une mesure et une régulation précises sur des plages de débit de 0,12 à 6 sccm et de 1 à 50 slm (basé sur N₂) à des pressions de service comprises entre le vide et 1 000 psig (64 bar).

La technologie numérique des instruments de la série EL-FLOW^® Metal Sealed offre une grande précision, une excellente stabilité de température et une réponse rapide. La carte mère contient toutes les fonctions générales nécessaires à la mesure et à la régulation. Outre la sortie standard RS232, les instruments disposent également des entrées / sorties analogiques. En option, il est possible d'équiper l'appareil d'une interface bus de terrain CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS. Le modèle EL-FLOW^® Metal Sealed dispose de la fonctionnalité Multi-gaz / Multi-échelles, offrant aux utilisateurs un maximum de flexibilité et de souplesse d'évolution pour d'autres utilisations.

Spécifications techniques

Système de mesure / régulation
Gamme de débit (gammes intermédiaires disponibles)	min. 0,12…6 ml_n/min max. 1…50 l_n/min









Précision (Linéarité incl.) (basée sur étalonnage réel)	±0,5% Rd plus ±0,1% FS




Répétabilité	< 0,2 % RD
Rangeabilité	1:150 (1:50 en mode analogique)


Pression max. de fonctionnement	1000 psig (64 bar)











Capacité multi-fluides	stockage de max. 8 courbes d'étalonnage; Multi Gas / Multi Range fonctionnalité optionnelle jusqu'à 10 bar abs



Temps de réponse (en régulation, standard)	1 second typical above 5% FS; option: down to 600 msec



Stabilité de régulation	± 0.05% FS (typical for 1 slm N₂)


Température de fonctionnement	-10…+70°C (Viton or EPDM valve seat); 0…70°C (NC valve with Kalrez 6375 seat); 0…50°C (NO valve with Kalrez 6375 seat)


Montage	la sensibilité à la position de montage est négligeable
Sensibilité à la température	zero: < 0.05% FS/°C; span: < 0.05% Rd/°C








Sensibilité à la pression	< 0,1% Rd/bar typical N₂; < 0,01% Rd/bar H₂



Etanchéité, vers l'extérieur	< 2 x 10^-11 Pa.m³/s He
Fuite par la vanne fermée	< 10-5 Pa.m3/s He (metal sealed)



Temps de chauffe	30 minutes. pour une précision optimale 2 min pour une précision de ± 2% PE

Parties mécaniques







Matériau (pièces en contact avec le fluide)	stainless steel 316L or comparable








Raccords de process	1/4” face seal male

Joints	Outer seals: metal-to-metal (no rings); Inner seal / valve seat: Kalrez® (FFKM)
Poids	0,7 kg
Protection IP	IP40

Propriétés électriques

Alimentation électrique

+ 15 … 24 Vdc

Consommation d'électrique max.

Alimentation
15 V
24 V

sous tension I/O
290 mA
200 mA

au courant I/O
320 mA
215 mA

extra pour bus de terrain
<75 mA
<50 mA

Sortie analogique

0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)

Communication numérique

standard: RS232;
options: PROFIBUS DP, CANopen®, DeviceNet™, PROFINET, EtherCAT®, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK, FLOW-BUS

Raccordement électrique
Analogique/RS232	9-pin D-connector (male);



PROFIBUS DP	bus: 9-pin D-connector (female); power: 9-pin D-connector (male);
CANopen® / DeviceNet™	5-pin M12-connector (male);

FLOW-BUS/Modbus-RTU/ASCII	RJ45 modular jack

Modbus TCP / EtherNet/IP / POWERLINK	2 x RJ45 modular jack (in/out);



EtherCAT®/ PROFINET	2 x RJ45 modular jack (in/out)

Options vanne de régulation

Options actionneur externe à connecter au régulateur

Certification pour les zones à risque d'explosion

Certifications / certificats

Téléchargements

Brochures
Metal Sealed Mass Flow and Pressure brochure

Manuels
Guide d'installation rapide EL-FLOW Metal Sealed
Manuel EL-FLOW Select

Schémas de câblage
E/S analogiques et RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
Configurations de bus et d'E/S optionnelles