Régulateurs de débit / Débitmètres massiques EL-FLOW® Metal sealed
Pour les applications de gaz de grande pureté
Les débitmètres massiques et régulateurs de débit massique de gaz Metal Sealed de Bronkhorst se caractérisent par leur configuration unique et brevetée internationalement à joint métal offrant une excellente étanchéité. En outre, ils se distinguent par une qualité de surface élevée et sont donc particulièrement adaptés pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs et de l'énergie solaire, ainsi qu'à d'autres applications de gaz de grande pureté. Les corps des débitmètres massiques et des régulateurs de débit massique sont équipés en standard de raccords 1/4" à étanchéité de surface métallique mâle (VCR).
- Plage minimum 0,12 à 6 mln/min
- Plage maximum 1 à 50 ln/min
Débitmètre massique / régulateur de débit massique Metal Sealed avec interface bus de terrain
Les instruments actuels sont équipés d'une carte numérique, offrant une grande précision, une excellente stabilité de température et une réponse rapide (temps de stabilisation t98 à 500 msec). Le modèle EL-FLOW® Metal Sealed dispose de la fonctionnalité Multi-gaz / Multi-échelles, offrant aux utilisateurs un maximum de flexibilité et de souplesse d'évolution pour d'autres utilisations. Afin d'épauler au mieux les utilisateurs, Bronkhorst fournit un logiciel de configuration simple d'utlisation.
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