Logiciel utilisé pour ce procédé
Le processus d'évaporation dans cette configuration utilise le logiciel LabVIEW pour une visualisation simple et efficace. En effet, un module V.I. (Virtual Instrument) a spécialement été conçu pour les instruments Bronkhorst, permettant de récupérer facilement les paramètres de mesure et de régulation et ce, de la même façon pour tous les instruments de la gamme Bronkhorst.
Le système traditionnel à bulleur, qui avait un débit limité de gaz porteur et de précurseur, a été remplacé par le système de vaporisation CEM actuellement utilisé. Cette transition a apporté plusieurs avantages.
Avantages obtenus grâce au système d'évaporation CEM
Avec le
système CEM, l'Empa obtient un rendement de gaz plus élevé de 50 ml/min par rapport au système précédent à bulleur, qui ne permettait qu'un débit de gaz de 4 à 5 ml/min. De plus, le débit de HMDSO liquide a été augmenté. L'objectif du l'Empa à présent est de passer à un pilote industriel.
Le
système CEM actuellement utilisé chez l'Empa est portable et compact. Cette configuration mobile de skid sur roulettes permet de déplacer facilement le système entre les laboratoires. La compacité des dispositifs Bronkhorst renforce également la flexibilité d’utilisation.
Le dispositif basé sur le HMDSO permet le dépôt de revêtements de polysiloxane à basse température, ce qui le rend adapté au revêtement des fibres textiles ne supportant pas les hautes températures. Les efforts du laboratoire Empa pour réaliser la polymérisation par plasma sous vide visent à augmenter le rendement de production en facilitant le dépôt hétérogène sur la surface de la fibre et en réduisant la quantité de produits chimiques utilisés.
Demander des conseils