Semi-conducteurs et Industrie LED

À l'origine, les débitmètres et régulateurs massiques thermiques ont été développés dans les années 1970 pour assurer l'injection de gaz pour réaliser le dépôt de couche mince dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. A l'écoute des exigences de ce marché, Bronkhorst a introduit de nouveaux produits plus performants pour l'injection de gaz, liquide et vapeur et est devenu ainsi un acteur majeur de l'industrie des semi-conducteurs, des écrans plats et des LED. Pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), de revêtement par pulvérisation pour les écrans plats (FPD) et de dépôt de couche atomique (ALD), nous pouvons proposer des régulateurs massiques tout métal pour les systèmes d'injection directe de liquide.

Brochure | Semi-conducteur

Exemples d'applications

Dépôt de couches protectrices sur les plaquettes avant découpe laser
Dépôt de vapeur chimique métallo-organique (MOCVD)
Dépôt de couches atomiques (ALD)
Dosage et régulation des fluides supercritiques (par ex. nettoyage au CO2 supercritique)
Revêtement par pulvérisation pour les écrans plats (FPD)

Mesure et régulation de fluides supercritiques

Il est difficile de mesurer les fluides comme le dioxyde de carbone (CO₂) lorsqu'ils se trouvent au stade supercritique, où la matière a la densité du liquide et la compressité du gaz. Les débitmètres massiques Coriolis s'adaptent parfaitement à ce type d'application grâce à leur mesure massique universelle : phase gaz / liquide / supercritique et pour toute composition chimique.

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Autres marchés

Les instruments de Bronkhorst sont utilisés pour de nombreuses applications sur différents marchés. Ils sont présents dans les laboratoires, les universités, l'industrie, les usines de production et les installations pilotes, voire même en zones explosives. Une grande partie des instruments fabriqués sont intégrés dans les machines ou équipements de fabrication des clients dits OEM (Original Equipment Manufacturers).