Débitmètres massiques Metal Sealed pour les gaz
Le débitmètre massique (MFM) F-111CM de Bronkhorst® est spécialement conçu pour répondre aux exigences du marché des semi-conducteurs et autres applications de gaz de grande pureté. Ces instruments sont dotés d'un état de surface supérieur et offrent une construction modulaire. Cette série intègre des joints métal qui assurent une étanchéité à long terme. Elle est assemblée et étalonnée en salle blanche. Le modèle F-111CM permet une mesure précise sur des plages de débit de 0,12 à 6 sccm et de 1 à 50 slm (basé sur N2) à des pressions de service comprises entre le vide et 1450 psig (100 barg).
La technologie numérique des instruments de la série EL-FLOW® Metal Sealed offre une grande précision, une excellente stabilité de température et une réponse rapide. La carte mère contient toutes les fonctions générales nécessaires à la mesure et à la régulation. Outre la sortie standard RS232, les instruments disposent également des entrées / sorties analogiques. En option, il est possible d'équiper l'appareil d'une interface bus de terrain CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK ou FLOW-BUS. Le modèle EL-FLOW® Metal Sealed dispose de la fonctionnalité Multi-gaz / Multi-échelles, offrant aux utilisateurs un maximum de flexibilité et de souplesse d'évolution pour d'autres utilisations.