Vapor Delivery Module
Die Bronkhorst® SW-200 VDM Alles-in-einem-Dampfzufuhrmodule sind für die genaue Bereitstellung eines Dampfflusses geeignet, der durch Mischung von bis zu 120 g/h H2O (320 g/h IPA) mit maximal 10 ln/min Trägergas bei Betriebsdrücken von Vakuum bis 10 bar erzeugt wird. Das Dampfzufuhrmodul umfasst die Komponenten eines Bronkhorst® CEM-Systems und vieles mehr! Neben Durchflussreglern für Gase und Flüssigkeiten sowie dem temperaturgesteuerten Verdampfer, verfügt das Modul auch über eine integrierte Stromversorgung sowie Display (1,8“ TFT) und Kontrollfunktionen. Optional kann eine Regelung für eine bauseitige Begleitheizung integriert werden.