IQ+FLOW Massendurchflussregler IQF-200C

MEMS-basierter Massendurchflussregler für Gase, für OEM-Anwendungen

Bronkhorst^® IQ⁺FLOW^® IQF-200C Massendurchflussregler sind für die genaue Regelung trockener, reiner, nicht korrosiver und nicht explosiver Gase geeignet. Der ultrakompakte Massendurchflussregler ist mit einem chip-basierten (MEMS) thermischen Massendurchflusssensor ausgestattet und für Durchflussbereiche zwischen 0,2…10 ml_n/min und 0,1…5 l_n/min (N₂-Äquivalent) bei Betriebsdrücken von bis zu 10 bar(g) geeignet. Die Kommunikation mit den Geräten erfolgt entweder im Analog-Modus oder digital über RS232 oder RS485.

Die ultrakompakten IQ⁺FLOW Instrumente werden normalerweise für den Einbau in Analyse- und medizinische Geräte empfohlen.

Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Durchflussbereich (Zwischenbereiche verfügbar)	min. 0,2…10 ml_n/min max. 0,1…5 l_n/min (based on N₂)









Genauigkeit (inkl. Linearität) (basierend auf der aktuellen Kalibrierung)	< ±1,5% RD + ±0,5% FS (Based on calibration with actual gas, at ambient temperature and at customer specified inlet pressure. Horizontal mounting position.)




Wiederholgenauigkeit	for flows < 20 ml_n/min: < ±0.5% FS; for flows > 20 ml_n/min: < ±0,5% RD
Turndown-Bereich	1:50 (2…100%)

Betriebsdruck	0 … 10 bar g








Medien	Dry, clean, non-corrosive gases. Standard calibration gases Air, N₂, Ar, He, CO₂ and H₂. Other dry, clean, non-corrosive gases on request (O₂, CO, …)



Multi-Fluid-Fähigkeit	Bis zu 8 Kalibrierkurven speicherbar



Einschwingzeit (in Regelung, typisch)	t98% down to 300 msec, 700 msec typical






Betriebstemperatur	5 … 50 °C



Temperatursensibilität	span: 0,2% RD/°C; zero: 0,01 ml_n/min/°C









max. Kv-Wert	2,37 x 10^-3


Leckdichtigkeit, nach außen	< 1 x 10^-8 mbar∙l/s He



Lageempfindlichkeit	max. error at 90° off horizontal 0,5 ml_n/min at 1 bar, typical N₂

Mechanische Teile







Werkstoff (medienberührte Teile)	aluminium, Si, SiOx, epoxy; option: stainless steel body (SS316L)








Prozessanschlüsse	optional: 10-32 UNF threaded internal nut with 1/16” ferrule (SS316 or Peek); 1/16” or 1/8” OD compression type

Dichtungen	standard: Viton®; other on request
Gewicht	120 g (Aluminium) / 180 g (SS316L)
Schutzart (Gehäuse)	IP40



Max. Druckdifferenz über das Regelventil	9 bar dif.

Elektrische Eigenschaften
Abtastzeit	2 msec
Spannungsversorgung	+ 15 … 24 Vdc


Stromaufnahme max.	100 mA







Analoges Ausgangssignal	0…5 (10) Vdc or 0 (4)…20 mA (sourcing output)







Digitale Kommunikation	RS232, RS485 (Modbus-RTU/ASCII or FLOW-BUS)

Elektrische Anschlüsse










Stromversorgung/Analog/RS232/RS485	RJ45 modular jack

Optionen Regelventil

Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument

Zertifizierung für explosionsgefährdete Bereiche

Zulassungen / Zertifikate

Downloads

Prospekte
IQ-FLOW Prospekt

Bedienungsanleitungen
IQ-FLOW Bedienungsanleitung
IQ-FLOW Kurzanleitung

Anschlusspläne
RS232-RS485

Dimensionszeichnungen
Dimensional drawing IQF-IQP 1-channel in-line

Solids 3D
IQF-100C-200C

IQ+FLOW IQF-200C MFC

MEMS-basierter Massendurchflussregler für Gase, für OEM-Anwendungen

Technische Spezifikationen

Empfohlenes Zubehör

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