FLEXI-FLOW Compact FF-Axxx

Preconfigured Advanced (PA) Mass Flow / Pressure Controllers

FLEXI-FLOW Compact Preconfigured Advanced (PA) Mass Flow / Pressure Controllers are suited for accurate measurement and control of flow ranges between 0…500 ml_n/min and 0…20 l_n/min at operating pressures between vacuum and 17 bar(a). The instrument combines a swift and stable thermal mass flow sensor based on capillary MEMS technology with a precise and proven by-pass construction. Due to the unique, internationally patented TCS Technology (Through Chip Sensor), accurate mass flow measurement, virtual independent of variations in temperature and line pressure is established. In combination with integrated temperature and up- and downstream pressure sensors, the embedded database for 22 gases allows accurate, on-board conversion. The multi-parameter instruments provide the user with useful process information. 

FLEXI-FLOW Compact Preconfigured Advanced' (PA) models feature a turndown of 1:500, flow control and output of temperature, upstream pressure and downstream pressure. They are available in 4 flow ranges (FS, based on N₂):

Type FF-A500 - 500 ml_n/min
Type FF-A2K0 - 2 l_n/min
Type FF-A5K0 - 5 l_n/min
Type FF-A20K - 20 l_n/min

Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Durchflussbereich (Zwischenbereiche verfügbar)	min. 0…500 mln/min max. 0…20 ln/min (basierend auf N2)
Druckbereiche	0...17 bar(a)
Genauigkeit (inkl. Linearität) (basierend auf der aktuellen Kalibrierung)	±0,8% Rd plus ±0,2% FS (N2/Air/O2) für andere Gase ist eine Umrechnungsunsicherheit hinzuzufügen; siehe Multi-Gas-Tabelle;
Wiederholgenauigkeit	Durchflusssensor: < ±0,2% v.M.; Drucksensoren: < ±0,2% v.E.
Turndown-Bereich	up to 1:500
max. Betriebsdruck	16 bar(g)
Multi Gas/Multi Range	eingebettete Gasdaten für 22 einzelne Gase sowie beliebige Mischungen dieser Gase
Einschwingzeit (in Regelung, typisch)	< 150 ms
Langzeitstabilität	< 0,5% v.E. über einen Zeitraum von 3 Jahren; danach < 0,2% v.E. pro Jahr
Regelstabilität	< ± 0,1% FS (typical for 1 ln/min N2)
Betriebstemperatur	0 … 50 °C
Lager-/Transportbedingungen	-20 … +80 °C, max. 95% RH (nicht kondensierend)
Einbau	Beliebige Position, Lageempfindlichkeit vernachlässigbar
Temperatursensibilität	Durchflusssensor: Nullpunkt 0,015% v.E./ºC; Spanne 0,05% v.M./ºC; Drucksensoren: Nullpunkt 0,16 mbar/ºC; Spanne 0,05% v.M./ºC
Temperatur-Genauigkeit	± 0,2 ºC (Temperatur des Gerätekörpers)
Genauigkeit Drucksensoren	±0,5% v.E.
Druckempfindlichkeit	standard: < 0,15% v.M./bar typisch N2; mit Druckkorrektur: typische Verbesserung um Faktor 5
Leckdichtigkeit, nach außen	getestet < 2 x 10-9 mbar l/s He
Leckage durch geschlossenes Ventil	typisch < 1 x 10-4 mbar·l/s He

Mechanische Teile
Instrumentenkörper	Aluminium
Werkstoff (medienberührte Teile)	aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Oberflächenqualität	< 1,6 mu Ra
Druckstufe (PN)	16 bar(g) / 250 psig
Max. ΔP	16 bar(d); 20 ln/min models: 5 bar (d)
Prozessanschlüsse	BSPP Innengewinde (ISO1179-1); Anschlüsse sind separat zu bestellen
Dichtungen	FKM 51415; valve seat: FFKM with PI film
Gewicht	200 g
Schutzart (Gehäuse)	IP40

Elektrische Eigenschaften
Spannungsversorgung	24 Vdc ± 10%
Stromaufnahme max.	2,5 Watt (typical, in control)
Digitale Kommunikation	Modbus RTU or FLOW-BUS (selectable) Optional: PROFINET, EtherCAT, Modbus-TCP, Ethernet/IP or POWERLINK
Support-Schnittstelle	USB-C port for easy setup; Optional Bluetooth connection for monitoring
Elektrische Anschlüsse	9-pin D-sub (male)
Zertifikation	CE / UKCA / KC

Elektrische Anschlüsse

Optionen Regelventil

Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument

Zertifizierung für explosionsgefährdete Bereiche

Zulassungen / Zertifikate

Technische Daten können ohne Vorankündigung geändert werden.