Verwendung von Durchflussreglern am Halbleitermarkt | Bronkhorst

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Bronkhorst bietet das größte Sortiment von (Massen-)Durchflussmessern und Druckmessern und -reglern für niedrige Durchflüsse an, das am Markt erhältlich ist. Für Anwendungen im Labor, in Maschinenbau, in der Industrie und in Gefahrenbereichen können verschiedene Versionen von Instrumenten in Standard- und Sonderausführungen angeboten werden.
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Kundenzufriedenheit, Innovation und Qualität von Produkt und Service sind die Eckpfeiler des Erfolges von Bronkhorst. Auf der Grundlage unserer Erfahrung, Innovation und unseres Verantwortungsbewusstseins sichert eine Beziehung mit Bronkhorst die "Performance for Life".
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Instrumente von Bronkhorst werden für zahlreiche Anwendungen in einer Vielzahl von Märkten eingesetzt. In dieser Sektion finden Sie eine Übersicht der Haupt-Märkte und typische Anwendungsbeispiele, wie unsere Instrumente eingesetzt werden.
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Suchen Sie technische Dokumente, möchten Sie mehr über Messverfahren oder Produkte von Bronkhorst erfahren oder Kontakt zu einem Servicetechniker von Bronkhorst aufnehmen? In diesem Bereich finden Sie wichtige Themen in Bezug auf Service und Support.
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Seit ihrer Gründung im Jahr 1981 beliefert Bronkhorst High-Tech die Prozessindustrie, d. h. insbesondere die (petro-)chemische, Kunststoff-, Metall- und Glasindustrie, mit Messgeräten für Massendurchfluss und Druck.
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Datasheet Halbleiterindustrie

Ursprünglich wurden thermische Massendurchflussmesser und -regler in den 1970er Jahren für die Gasphasenabscheidung in Halbleiterfertigungsprozessen entwickelt. Indem Bronkhorst auf die Anforderungen dieses Marktes hörte und neue und bessere Produkte für die Gas-, Flüssigkeits- und Dampfabgabe einführte, wurde Bronkhorst zu einem wichtigen Lieferanten für die Halbleiterindustrie. Für die Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), der Sprühbeschichtung für Flachbildschirme (FPD) und der Atomlagenabscheidung (ALD) können wir metallisch abgedichtete Durchflussinstrumente für direkte Flüssigkeitseinspritzsysteme anbieten.

Halbleiterindustrie Broschüre

Anwendungsbeispiele

Abscheidung von Schutzschichten auf Wafern vor dem Lasern
Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD)
Atomic Layer Deposition (ALD)
Dosierung und Regelung überkritischer Fluide (z.B. überkritische CO2-Reinigung)
Sprühbeschichtung von Flachbildschirmen

Andere Märkte

Instrumente von Bronkhorst werden für zahlreiche Anwendungen in einer Vielzahl von Märkten eingesetzt. Sie finden Einsatz in Labors, Universitäten, der Industrie, Produktions- und Pilotanlagen und sogar in Bereichen oder Anlagen, in denen Explosionsgefahr herrscht. Ein großer Teil der gefertigten Instrumente ist in Fertigungsmaschinen oder -anlagen sogenannter OEM-Kunden („Original Equipment Manufacturers“ oder Erstausrüstern) integriert.

www.bronkhorst.com

Bronkhorst High-Tech designs and manufactures innovative instruments and subsystems for low-flow measurement and control for use in laboratories, machinery and industry. Driven by a strong sense of sustainability and with many years of experience, we offer an extensive range of (mass) flow meters and controllers for gases and liquids, based on thermal, Coriolis and ultrasonic measuring principles. Our global sales and service network provides local support in more than 40 countries. Discover Bronkhorst®!