Bronkhorst

Durchflussgeräte in Solarproduktionsprozessen

Solarenergie nimmt einen hohen Stellenwert unter den erneuerbaren Energien nach Wind- und Wasserkraft, ein. Die Produktion von Solarzellen umfasst mehrere Schritte wie die Reinigung, das Ätzen von Siliziumwafern und die Schichtablagerung mithilfe von chemischer Gasphasenabscheidung (CVD), physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD) oder Beschichtungsmethoden. In verschiedenen Prozessen kommen Durchflussmessinstrumente zum Einsatz. Durchflussmessinstrumente gewährleisten eine genaue und reproduzierbare Versorgung mit Gasen, Dämpfen und Flüssigkeiten in Prozessen wie:

  • Das Aufbringen von Schichten auf Siliziumwafern in herkömmlichen Solarzellen auf Siliziumbasis
  • Das Erzeugen von dünnen Schichten für Dünnschicht-Solarzellen der zweiten Generation auf flexiblen Substraten aus amorphem Silizium
  • Das Auftragen von Aluminiumoxid-Schutz- und/oder Antireflexionsschichten.
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Durchflussgeräte in der Solarzellenproduktion

Durchflussmessgeräte in Kundenanwendungen



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