Bronkhorst

Druckmessung

Bei dem Bronkhorst® EL-PRESS Drucksensor handelt es sich um eine piezoresistive Brücke auf der Oberfläche eines Siliziumchips. Dieser Chip ist auf der Rückseite ausgebohrt, wodurch die Innenseite des Chips die Form einer Druckmembran annimmt, deren Dicke den Druckbereich bestimmt. Wenn Druck auf diesen Chip einwirkt, biegt sich die Membran, und die Widerstandswerte der Brücke ändern sich proportional zum Druck. Die Messzelle wird durch eine dünne, empfindliche Edelstahlmembran vom externen Druck getrennt, und der abgedichtete Hohlraum zwischen Membran und Zelle wird mit Öl gefüllt.

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Auswahl von Druckmessern und Druckreglern von Bronkhorst


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