MEMS-basierter Massendurchflussmesser für Gase, für OEM-Anwendungen
Bronkhorst® IQ+FLOW® IQF-100C Massendurchflussmesser sind für die genaue Messung trockener, reiner, nicht korrosiver und nicht explosiver Gase geeignet. Der ultrakompakte Massendurchflussmesser ist mit einem chip-basierten (MEMS) thermischen Massendurchflusssensor ausgestattet und für Durchflussbereiche zwischen 0,2…10 mln/min und 0,1…5 ln/min (N2-Äquivalent) bei Betriebsdrücken von bis zu 10 bar(g) geeignet. Die Kommunikation mit den Geräten erfolgt entweder im Analog-Modus oder digital über RS232 oder RS485.
Die ultrakompakten IQ+FLOW Instrumente werden normalerweise für den Einbau in Analyse- und medizinische Geräte empfohlen.