Bronkhorst

FLEXI-FLOW Compact FF-Sxxx

Kompakter vorkonfigurierter Standard Massendurchflussregler

  • Schnelle und stabile Kontrolle
  • On-Board-Gasumwandlungsmodell
  • 22 einzigartige Gase integriert
  • Multi-Parametermessung: Durchfluss, Temperatur und Druck
  • USB-C- und Bluetooth-Kommunikation
  • Namur-NE107-Statusanzeige
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FLEXI-FLOW CompactFF-Sxxx

Preconfigured Standard (PS) Mass Flow Controllers

FLEXI-FLOW Compact Preconfigured Standard (PS) Mass Flow Controllers are suited for accurate measurement and control of flow ranges between 0…500 mln/min and 0…20 ln/min at operating pressures between vacuum and 17 bar(a). The instrument combines a swift and stable thermal mass flow sensor based on capillary MEMS technology with a precise and proven by-pass construction. Due to the unique, internationally patented TCS Technology (Through Chip Sensor), accurate mass flow measurement, virtual independent of variations in temperature and line pressure is established. In combination with integrated temperature and up- and downstream pressure sensors, the embedded database for 22 gases allows accurate, on-board conversion. The multi-parameter instruments provide the user with useful process information. 

FLEXI-FLOW Compact Preconfigured Standard (PS) Mass Flow Controllers feature a turndown of 1:50, flow control + temperature output). They are available in 4 flow ranges (FS, based on N2):

Type FF-S500 - 500 mln/min
Type FF-S2K0 - 2 ln/min
Type FF-S5K0 - 5 ln/min
Type FF-S20K - 20 ln/min

Technische Spezifikationen

Mess- / Regelsystem
Durchflussbereich (Zwischenbereiche verfügbar)min. 0…500 mln/min
max. 0…20 ln/min
(basierend auf N2)
Genauigkeit (inkl. Linearität) (basierend auf der aktuellen Kalibrierung)±1,5% Rd plus ±0,5% FS (N2/Air/O2)
für andere Gase ist eine Umrechnungsunsicherheit hinzuzufügen; siehe Multi-Gas-Tabelle;
Wiederholgenauigkeit≤ ± 0,2% Rd
Turndown-Bereich1:50
max. Betriebsdruck16 bar(g)
Multi Gas/Multi Rangeeingebettete Gasdaten für 22 einzelne Gase sowie beliebige Mischungen dieser Gase
Einschwingzeit (in Regelung, typisch)< 150 ms
Langzeitstabilität< 0,5% v.E. über einen Zeitraum von 3 Jahren; danach < 0,2% v.E. pro Jahr
Regelstabilität< ± 0,1% FS (typical for 1 ln/min N2)
Betriebstemperatur0 … 50 °C
Lager-/Transportbedingungen-20 … +50 °C, max. 95% RH (nicht kondensierend)
EinbauBeliebige Position, Lageempfindlichkeit vernachlässigbar
TemperatursensibilitätNullpunkt 0,015% v.E./ºC; Spanne 0,05% v.M./ºC
Temperatur-Genauigkeit± 0,2 ºC (Temperatur des Gerätekörpers)
Druckempfindlichkeitstandard: < 0,15% Rd/bar typical N2
Leckdichtigkeit, nach außengetestet < 2 x 10-9 mbar l/s He
Leckage durch geschlossenes Ventiltypisch < 1 x 10-4 mbar·l/s He
Mechanische Teile
InstrumentenkörperAluminium
Werkstoff (medienberührte Teile)aluminium, stainless steel, silicon nitride, epoxy, aluminium oxide, glass
Oberflächenqualität< 1,6 mu Ra
Druckstufe (PN)16 bar(g) / 250 psig 16 bar(g) / 250 psig
Max. ΔP16 bar(d);
20 ln/min models: 5 bar (d)
ProzessanschlüsseBSPP Innengewinde (ISO1179-1); Anschlüsse sind separat zu bestellen
DichtungenFKM 51415; valve seat: FFKM with PI film
Gewicht200 g
Schutzart (Gehäuse)IP40
Elektrische Eigenschaften
Spannungsversorgung24 Vdc ± 10%
Stromaufnahme max.2,5 Watt (typical, in control)
Digitale KommunikationModbus RTU or FLOW-BUS (selectable)
Support-SchnittstelleUSB-C port for easy setup; Optional Bluetooth connection for monitoring
Elektrische Anschlüsse9-pin D-sub (male)
ZertifikationCE / UKCA / KC
Elektrische Anschlüsse
Optionen Regelventil
Externe Antriebsmöglichkeiten zum Anschluss an das Instrument
Zertifizierung für explosionsgefährdete Bereiche
Zulassungen / Zertifikate

Technische Daten können ohne Vorankündigung geändert werden.

Für Maßzeichnungen und Anschlusspläne besuchen Sie die Produktseite auf unserer webseite

Downloads

Brochures
FLEXI-FLOW Compact brochure
Manuals
Manual FLEXI-FLOW Compact
Quick Start Guide FLEXI-FLOW Compact
Mounting Instruction Compression Fittings
Mounting Instruction Push-in Fittings
Hook-up diagrams
FLEXI-FLOW Compact Modbus-RTU / FLOW-BUS
Dimensional drawings
Dimensional drawing FF-Sxxx
Solids 3D
FLEXI-FLOW Compact MFC-MFM


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