Metallisch gedichtete Massendurchflussregler für Gase
Bronkhorst® F-201CM Massendurchflussregler wurden speziell entworfen, um den Anforderungen des Halbleitermarkts sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Instrumente zeichnen sich durch eine hohe Oberflächenqualität und einen modularen Aufbau mit metallischen Dichtungen aus, die langfristige Dichtigkeit gewährleisten. Der F-201CM ist für die genaue Messung und Regelung von Durchflussbereichen zwischen 0,12…6 sccm und 1…50 slm (ausgehend von N2) bei Betriebsdrücken bis zu 64 bar (1000 psi) geeignet.
Die EL-FLOW® metal sealed Serie ist mit einer digitalen Platine ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit, hervorragende Temperaturstabilität und schnelle Ansprechzeit gewährleistet. Die digitale Hauptplatine umfasst alle allgemeinen Funktionen, die für Messung und Regelung erforderlich sind. Neben dem Standard-RS232-Ausgang bieten die Instrumente auch analoge Signale. Optional kann eine On-Board-Schnittstelle für CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII oder TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK oder FLOW-BUS Protokolle montiert werden. Die EL-FLOW® metal sealed Ausführung verfügt über eine optionale Multi-Gas- / Multi-Range-Funktion, die (OEM-)Kunden optimale Flexibilität und Prozesseffizienz bietet.