IQ+FLOW® Ultrakompakte Druckmesser/-regler

Drucksensoren auf der Grundlage von MEMS-Technologie

Anlagenbauer sind oft auf der Suche nach kompakten und kleinen Lösungen zur Messung und Regelung der Gasflüsse oder Drücke in Ihren Systemen. Die Größe von Auftischgeräten wie sie in analytischen, biotechnischen und medizinischen Bereichen genutzt werden, sollten möglichst kompakt sein um den vorhanden Platz möglichst effizient nutzen zu können.

In enger Zusammenarbeit mit dem TNO-TPD (führendes, niederländisches Institut für angewandte Physik) hat Bronkhorst den IQ+FLOW® Massendurchflusssensor für Gase entwickelt. Zusätzlich wurde ein Miniatur-Drucksensor und ein Edelstahl-Miniatur-Ventil entwickelt, welche zu dieser kompakten Platform passen. Zusammen mit dem auf MEMS-Technologie basierenden Sensor stellt der IQ+FLOW® die kompakteste Möglichkeit dar, kleine Mengen an Gasdurchfluss und Druck zu messen und zu regeln – und das auf einer Stellfläche von nur 20 mm x 40 mm. IQ+FLOW® können zudem mit optionalen, mediengetrennten Sensoren ausgestattet werden, um für ein noch breiteres Spektrum an Medien kompatibel zu sein.

• Kleinster Bereich 0,01...0,5 bar absolut oder relativ (Überdruck)
• Größter Bereich 0,2...10 bar absolut oder relativ (Überdruck)

Kundenspezifische Entwürfe