Metallisch gedichtete Nachdruckregler
Bronkhorst® P-602CM Nachdruckwandler (elektronische Druckregler) wurden speziell entworfen, um den Anforderungen des Halbleitermarkts sowie anderer Reinstgasanwendungen zu entsprechen. Die Instrumente zeichnen sich durch eine hohe Oberflächenqualität und einen modularen Aufbau mit metallischen Dichtungen aus, der langfristige Dichtigkeit gewährleistet. Das Modell P-602CM ist für die genaue Messung und Regelung von Druckbereichen zwischen 5…100 mbar und 3,2…64 bar Absolutdruk oder 1,05...21 bar Überdruck geeignet. Der elektronische Druckregler basiert auf einem bewährten Durchflussdesign. Er umfasst einen piezoresistiven Membrandrucksensor, eine mikroprozessorgesteuerte Platine mit Signal- und Feldbuskommunikation sowie einen PID-Regler für die Druckregelung über ein integriertes Regelventil.
Neben dem Standard-RS232-Ausgang bieten die Instrumente auch analoge Signale. Optional kann eine On-Board-Schnittstelle für CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII oder TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK oder FLOW-BUS Protokolle integriert werden.